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二氧化硅按其结构特征可分为结晶形和非结晶形,半导体工艺中形成和利用的是非晶态二氧化硅?

来源:www.bxwzhw.com   时间:2023-09-25 21:37   点击:71  编辑:admin   手机版

是的。

非晶态材料具有常规晶体材料不具备的优异物理与化学特性,应用价值巨大。

非晶态二氧化硅具有优良驻极体性质,可制成微型化、集成化和机敏化的高灵敏度的传感器。

例如,非晶态的二氧化硅作为高介电材料在半导体行业中应用广泛。

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